มาคุยกันเรื่องส่วนที่ทำให้ทุกคนต้องกลั้นหายใจในการแบ่งแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์: การลอกฟิล์ม UV ออก ขั้นตอนนี้ไม่สามารถเร่งรีบได้ เพราะมันอาจทำให้การผลิตทั้งหมดสำเร็จหรือล้มเหลว
สิ่งที่คุณต้องการจริงๆ คือแหล่งกำเนิดแสง UV ที่ไม่ได้ปล่อยพลังงานแบบสุ่ม มันต้องมีความยาวคลื่นที่แม่นยำเพื่อทำลายการยึดติดในทันที นั่นคือเหตุผลที่เราเลือกใช้หลอดไฟ UV ของ Excelitas ซึ่งถูกสร้างขึ้นมาเพื่อหน้าที่นี้โดยเฉพาะ และมันก็แสดงผลได้ดี
พลังงาน แรงดัน และขนาด—ทั้งหมดถูกออกแบบให้เหมาะสมกับโลกจริง
เราไม่ได้กำหนดสเปกหลอดไฟนี้ในห้องสุญญากาศ แต่ปรับให้เข้ากับการทำงานจริงของสายการผลิตในโรงงานวันแล้ววันเล่า มันทำงานด้วยแรงดันสูง—โดยปกติอยู่ที่ 400V—เพื่อให้พลังงานอาร์คที่ทำให้การบ่มเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว และที่สำคัญคือ ความเข้มข้นทั้งหมดนี้บรรจุอยู่ในหลอดที่ยาวเพียง 300 มม.
ขนาดของหลอดถูกออกแบบให้เล็กลงอย่างตั้งใจ เพื่อให้สามารถใส่เข้าไปในเครื่องมือที่มีพื้นที่จำกัดได้โดยไม่ต้องออกแบบเครื่องจักรใหม่ทั้งหมด
ทำไมการควบคุมความยาวคลื่นจึงสำคัญจริงๆ
หัวใจของหลอดไฟคือปลอกควอตซ์และการเคลือบที่ได้รับการออกแบบอย่างละเอียด ไม่ใช่แค่เพื่อทนต่อความร้อน แต่เพื่อควบคุมสเปกตรัม กรองแสงให้ออกมาในย่าน UV ที่ทำให้การยึดติดของโฟโตโพลิเมอร์หลุดออก
เราใช้ขั้วต่อ R7s เพราะมันให้การเชื่อมต่อที่มั่นคงและมีกระแสไฟสูง สามารถรองรับการร้อนและเย็นสลับกันอย่างต่อเนื่องบนพื้นโรงงานได้ ไม่มีปัญหา ไม่มีการสั่นคลอน แค่การเชื่อมต่อที่มั่นคง
บนพื้นที่ผลิต: รวดเร็ว สะอาด และควบคุมได้
นี่คือความรู้สึกเมื่อหลอดไฟทำงานถูกต้อง แสง UV ส่องไปที่ฟิล์ม UV การยึดติดหลุดทันที และเวเฟอร์ก็หลุดออกมา คุณจะได้ความเร็วโดยไม่มีความเสี่ยงต่อการบิ่นหรือรอยแตกร้าวเล็กๆ ระหว่างการลอก
แต่ก็มีข้อแลกเปลี่ยน แหล่งกำเนิดแสง UV กำลังสูงจะปล่อยความร้อนมาก ดังนั้นอุปกรณ์จึงต้องมีการระบายความร้อนที่เหมาะสมเพื่อรักษาความเสถียร แต่เมื่อระบบระบายความร้อนถูกตั้งค่าอย่างดี หลอดไฟก็จะทำงานต่อเนื่องเป็นรอบ ๆ อย่างเสถียร ซ้ำแล้วซ้ำเล่า ไม่มีปัญหา